[发明专利]一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统在审

专利信息
申请号: 201710947510.3 申请日: 2017-10-12
公开(公告)号: CN107561747A 公开(公告)日: 2018-01-09
发明(设计)人: 单剑锋 申请(专利权)人: 惠科股份有限公司
主分类号: G02F1/13 分类号: G02F1/13
代理公司: 深圳市精英专利事务所44242 代理人: 林燕云
地址: 518108 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统,所述预烘烤装置包括顶板、底板、第一侧板、第二侧板、与第一侧板相对设置的第三侧板以及与第二侧板相对设置的第四侧板,所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板、第三侧板和第四侧板共同形成有一腔室,所述第一侧板设置有窗口,所述第二侧板开设有进气孔以连接一热空气系统的供气管,所述第四侧板开设有排气孔以连接一排气系统的排气管,所述顶板的内表面设置有抗粘性的膜层。本发明的显示基板的预烘烤装置,顶板的内表面设置有抗粘性的膜层,显示基板预烘烤蒸发光阻的溶剂时,挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板上,提高显示基板的产品良率。
搜索关键词: 一种 显示 烘烤 装置 系统
【主权项】:
一种显示基板的预烘烤装置,其特征在于,所述预烘烤装置的内部设置有一腔室,所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层,所述腔室的侧面开设有:窗口,所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层;进气孔,用于与热空气系统的供气管连接;排气孔,用于与排气系统的排气管连接。
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