[发明专利]一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统

说明书

技术领域

本发明液晶显示技术领域，尤其涉及一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统。

背景技术

在显示基板的制作工艺过程，经过光阻制作后需要进行预烘烤，把光阻内部的溶剂蒸发出来，这有利于后续的曝光和显影工序的进行。并且，随着液晶显示面板往高分辨率发展，光阻使用的颜料颗粒化以提高色彩饱和度，因为颜料颗粒变细才能够保证更高的高过滤、对比度和色度等，因此在分散颜料颗粒上，往往会添加多种调和剂以及光化剂以保证颜料颗粒的分散，同时，这在预烘烤阶段造成了更多的溶剂蒸汽，如果不能很好地排出这些溶剂蒸汽，对产品的良率会造成很大的影响。

发明内容

本发明提供了一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统，能够提高显示基板的产品良率。

一方面，本发明实施例提供了一种显示基板的预烘烤装置，该预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：

窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；

进气孔，用于与一热空气系统的供气管连接；

排气孔，用于与一排气系统的排气管连接。

进一步地，所述预烘烤装置，其特征在于，包括：

底板；

顶板，与所述底板相对设置，所述膜层设置于所述顶板的内表面；

第一侧板，所述窗口设置于所述第一侧板；

第二侧板，与所述顶板、底板以及第一侧板连接，所述进气孔开设于所述第二侧板；

第三侧板，与所述第一侧板相对设置，与所述顶板、底板、第一侧板以及第二侧板连接；

第四侧板，与所述第二侧板相对设置，且与所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板以及第三侧板共同形成所述腔室，所述排气孔开设与所述第四侧板。

进一步地，所述排气孔和进气孔的数量均为6个。

进一步地，所述排气孔与所述进气孔一一对准。

进一步地，所述膜层为耐酸碱的膜层。

进一步地，所述膜层由包括聚四氟乙烯的材料制成或由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成。

进一步地，所述膜层的耐温温度大于或等于200℃。

进一步地，所述窗口为百叶窗，所述百叶窗面对所述腔室的一面设置有所述抗粘性的膜层。

另一方面，本发明实施例还提供了一种显示基板的预烘烤系统，该预烘烤系统包括：

热空气系统；

排气系统；

预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：

窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；

进气孔，与所述热空气系统的供气管连接；

排气孔，与所述排气系统的排气管连接。

又一方面，本发明实施例还提供了一种显示基板的预烘烤系统，该预烘烤系统包括：

热空气系统；

排气系统；

预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：

窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；

进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；

排气孔，用于与排气系统的排气管连接。

其中，所述排气孔和进气孔的数量均为6个，所述排气孔与所述进气孔一一对准，所述窗口为百叶窗，所述百叶窗面对所述腔室的一面设置有所述膜层，所述膜层具有抗酸碱性、电绝缘性，且耐温温度大于或等于200℃。

本发明的显示基板的预烘烤装置和预烘烤系统，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口；进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；排气孔，用于与排气系统的排气管连接。预烘烤装置的腔室顶部表面设置有抗粘性的膜层，预烘烤显示基板预蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在腔室的顶部，提高显示基板的产品良率，从而降低生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种显示基板的预烘烤装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种显示基板的预烘烤系统的结构示意图。

具体实施方式