[发明专利]基于EA的宽带EUV多层膜的离散化膜系设计方法

摘要

本发明公开的一种基于进化算法(EA)的宽带极紫外(EUV)多层膜的离散化膜系设计方法包括：依据仅以时间控制膜厚镀膜系统的沉积速率，以EA为基础将传统化膜系设计中膜厚参数改进为以沉积速率为公差的等差数列的离散化膜厚输入；以种群中各膜系的光谱性能评价每个离散化膜系的适应度，通过进化算法实现离散化膜系种群的进化，输出最优的离散化膜系。本发明的设计方法解决了仅由时间控制膜厚且沉积速率较大的镀膜系统无法满足宽带EUV多层膜膜厚控制精度的问题，并通过实验进行了相关的验证，得到了较为理想的宽带EUV多层膜。

主权项

一种基于进化算法(EA)的宽带极紫外(EUV)多层膜的离散化膜系设计方法，其特征在于包括以下步骤：(1)输入基于EA的宽带EUV多层膜离散化膜系设计方法初始参数值，初始参数值包括种群规模N、染色体个数n、交叉概率Pc、变异概率Pm，最大进化次数和膜层沉积时间搜索范围；(2)对多层膜沉积时间进行实数编码，并随机生成对应膜系沉积时间的初始种群D(g)，g＝1；(3)离散化多层膜膜系，并根据适应度函数计算表征离散化膜系的沉积时间D(g)中个体适应度，保存表征最优多层膜膜系的沉积时间的个体；(4)判断算法是否满足终止条件，若满足则算法停止并输出最优的离散化膜系，若不满足则进行步骤(5)；(5)通过交叉操作更新表征多层膜膜系沉积时间种群D(g)；(6)通过变异操作更新表征多层膜膜系沉积时间种群D(g)；(7)采用精英保留策略对表征多层膜膜系沉积时间的种群D(g)进行更新，进化代数g＝g+1，并转向步骤(3)。