[发明专利]一种太阳能电池生产用硅片清洗装置在审
申请号: | 201710933564.4 | 申请日: | 2017-10-10 |
公开(公告)号: | CN107799444A | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 吴荣;洪斯盈;高敏;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 谢斌 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 338000 江西省新余市江渝水区水*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明涉及一种太阳能电池生产用清洗装置,尤其涉及一种太阳能电池生产用硅片清洗装置。本发明要解决的技术问题是提供一种能够降低劳动强度、能够提高清洗效率、操作简单、使用方便的太阳能电池生产用硅片清洗装置。为了解决上述技术问题,本发明提供了这样一种太阳能电池生产用硅片清洗装置,包括有底板等;底板顶部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆,两个支杆的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱,清洗箱的顶部为敞口式设置,清洗箱的左侧下部连接有第一出液管。本发明清洗装置能够对硅片进行清洗,并通过旋转装置使硅片转动从而使清洗装置能够对全部的硅片进行清洗,达到了能够降低劳动强度、能够提高清洗效率、操作简单、使用方便的效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池生产用硅片清洗装置,其特征在于,包括有底板(1)、支杆(2)、清洗箱(3)、第一出液管(4)、第一阀门(5)、旋转装置(6)、放置板(7)、第一竖杆(9)、顶板(10)和清洗装置(11),底板(1)顶部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆(2),两个支杆(2)的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱(3),清洗箱(3)的顶部为敞口式设置,清洗箱(3)的左侧下部连接有第一出液管(4),第一出液管(4)上设有第一阀门(5),底板(1)的底部中间设有旋转装置(6),旋转装置(6)的旋转部件位于清洗箱(3)内,旋转装置(6)的旋转部件上连接有放置板(7),放置板(7)的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置槽(8),清洗箱(3)的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆(9),第一竖杆(9)的顶部通过螺栓水平连接有顶板(10),顶板(10)的底部左侧设有清洗装置(11)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造