[发明专利]一种太阳能电池生产用硅片清洗装置在审
申请号: | 201710933564.4 | 申请日: | 2017-10-10 |
公开(公告)号: | CN107799444A | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 吴荣;洪斯盈;高敏;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 谢斌 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 338000 江西省新余市江渝水区水*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 硅片 清洗 装置 | ||
1.一种太阳能电池生产用硅片清洗装置,其特征在于,包括有底板(1)、支杆(2)、清洗箱(3)、第一出液管(4)、第一阀门(5)、旋转装置(6)、放置板(7)、第一竖杆(9)、顶板(10)和清洗装置(11),底板(1)顶部的左右两侧均通过螺栓竖直连接有支杆(2),两个支杆(2)的顶部之间通过螺栓连接有清洗箱(3),清洗箱(3)的顶部为敞口式设置,清洗箱(3)的左侧下部连接有第一出液管(4),第一出液管(4)上设有第一阀门(5),底板(1)的底部中间设有旋转装置(6),旋转装置(6)的旋转部件位于清洗箱(3)内,旋转装置(6)的旋转部件上连接有放置板(7),放置板(7)的顶部沿轴向均匀间隔的开有多个放置槽(8),清洗箱(3)的顶部右侧通过螺栓连接有第一竖杆(9),第一竖杆(9)的顶部通过螺栓水平连接有顶板(10),顶板(10)的底部左侧设有清洗装置(11)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池生产用硅片清洗装置,其特征在于,旋转装置(6)包括有第一轴承座(601)、第二轴承座(602)、第一转轴(603)、第一齿轮(604)、第一电机(605)和第二齿轮(606),第一轴承座(601)通过螺栓安装在底板(1)的顶部中间,清洗箱(3)的底部中间嵌入式的安装有第二轴承座(602),第一轴承座(601)和第二轴承座(602)之间连接有第一转轴(603),第一转轴(603)通过过盈连接的方式与第一轴承座(601)和第二轴承座(602)的轴承连接,放置板(7)的底部通过螺栓与第一转轴(603)的顶端连接,第一转轴(603)的下部外围通过平键连接的方式连接有第一齿轮(604),第一轴承座(601)右侧的底板(1)顶部通过螺栓安装有第一电机(605),第一电机(605)的输出轴通过联轴器连接有第二齿轮(606)。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池生产用硅片清洗装置,其特征在于,清洗装置(11)包括有第二电机(111)、安装板(112)、气缸(113)和毛刷(114),第二电机(111)通过螺栓安装在顶板(10)的底部左侧,第二电机(111)的输出轴通过联轴器连接有安装板(112),安装板(112)的底部通过螺栓安装有气缸(113),气缸(113)的伸缩杆上连接有毛刷(114)。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池生产用硅片清洗装置,其特征在于,还包括有喷洗装置(12),清洗箱(3)右侧的底板(1)顶部设有喷洗装置(12),喷洗装置(12)包括有第三轴承座(121)、第二转轴(122)、第一皮带轮(123)、第二皮带轮(124)、平皮带(125)、储液箱(126)、圆盘(128)、连接杆(129)、第一活塞(1210)、进液管(1211)、第一单向阀(1212)、第二出液管(1213)、第二单向阀(1214)、第二阀门(1215)、第二竖杆(1216)和第一喷头(1217),第三轴承座(121)通过螺栓安装在清洗箱(3)右侧的底板(1)顶部,第三轴承座(121)上的轴承通过过盈连接的方式连接有第二转轴(122),第二转轴(122)的上部外围通过平键连接的方式连接有第一皮带轮(123),第一齿轮(604)上方的第一转轴(603)外围通过平键连接的方式连接有第二皮带轮(124),第一皮带轮(123)和第二皮带轮(124)之间连接有平皮带(125),底板(1)的右侧面通过螺栓连接有储液箱(126),储液箱(126)的左侧面中部开有第一导孔(127),第一皮带轮(123)的上侧连接有圆盘(128),圆盘(128)顶部的偏心位置上通过铰接部件铰接连接有连接杆(129),连接杆(129)的右端穿过第一导孔(127),并通过铰接部件铰接连接有第一活塞(1210),储液箱(126)的右侧上部连接有进液管(1211),进液管(1211)上设有第一单向阀(1212),储液箱(126)的右侧下部连接有第二出液管(1213),第二出液管(1213)上设有第二单向阀(1214)和第二阀门(1215),第二电机(111)右侧的顶板(10)顶部通过螺栓连接有第二竖杆(1216),第二竖杆(1216)的底端安装有第一喷头(1217),第二出液管(1213)的末端与第一喷头(1217)连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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