[发明专利]一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710924451.8 | 申请日： | 2017-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109596208B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李俊红;李东宁;任伟;汪承灏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;B81C3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;李彪 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器，所述MEMS压电矢量水听器的工作频率范围为10KHz以下；其包括：若干压电传感芯片(a)、对应的若干后置放大电路(b)、灌封结构(c)；每个所述后置放大电路(b)上固定所述压电传感芯片(a)，并内封在所述封装结构(c)，且分别沿坐标系X轴、Y轴、Z轴放置；采用具有U形槽压电复合悬臂梁和质量块结构以及相应的灌封结构来构成MEMS压电矢量水听器，通过U形槽，使压电复合悬臂梁被分割为独立的若干压电单元，并且对所述若干压电单元进行电极串联，通过具有U形槽的压电复合悬臂梁和电极串联结构，明显提高了MEMS压电矢量水听器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 结构 mems 压电 矢量 水听器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器，其特征在于，所述MEMS压电矢量水听器的工作频率范围为10KHz以下；其包括：若干压电传感芯片(a)、对应的若干后置放大电路(b)、灌封结构(c)；每个所述后置放大电路(b)上固定所述压电传感芯片(a)，并内封在所述封装结构(c)，且分别沿坐标系X轴、Y轴、Z轴放置。
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