[发明专利]基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质

摘要

本发明提供一种基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质，在同一基板的液处理中变更蚀刻选择比。该基板液处理装置在设置于液处理部(39)的处理槽(34)内贮存磷酸水溶液，将基板浸于处理槽所贮存的磷酸水溶液中，由此对该基板进行处理。在基板浸于处理槽内的磷酸水溶液中的第一期间，利用磷酸水溶液排出部(43)以第一排出流量从液处理部(39)排出磷酸水溶液，并且利用磷酸水溶液供给部(40)向液处理部供给磷酸水溶液。在另外的第二期间，利用磷酸水溶液排出部以与第一排出流量不同的第二排出流量从液处理部排出磷酸水溶液，并且利用磷酸水溶液供给部向液处理部供给磷酸水溶液。

主权项

一种基板液处理装置，其特征在于，具备：液处理部，其包括处理槽，所述处理槽贮存磷酸水溶液，将基板浸于所述处理槽所贮存的磷酸水溶液中，由此对所述基板进行处理；磷酸水溶液供给部，其能够以控制后的流量向所述液处理部供给磷酸水溶液；磷酸水溶液排出部，其能够以控制后的流量排出存在于所述液处理部内的磷酸水溶液；以及控制部，其对所述磷酸水溶液供给部和所述磷酸水溶液排出部的动作进行控制，其中，在所述基板浸于所述处理槽内的磷酸水溶液中的第一期间，所述控制部使所述磷酸水溶液排出部以第一排出流量从所述液处理部排出磷酸水溶液，并且利用所述磷酸水溶液供给部向所述液处理部供给磷酸水溶液，在所述基板浸于所述处理槽内的磷酸水溶液中的第二期间，所述控制部使所述磷酸水溶液排出部以与所述第一排出流量不同的第二排出流量从所述液处理部排出磷酸水溶液，并且利用所述磷酸水溶液供给部向所述液处理部供给磷酸水溶液。