[发明专利]一种可控涡旋电子束生成方法、装置有效
| 申请号: | 201710896938.X | 申请日: | 2017-09-28 |
| 公开(公告)号: | CN107887245B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
| 发明(设计)人: | 田鹤;陈星;杜凯;孙土来;陈琼阳;陈鑫铠;任天星 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | H01J37/14 | 分类号: | H01J37/14;H01J37/26 |
| 代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
| 地址: | 310013 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种可控涡旋电子束生成装置,包括含有加热样品杆、光阑的控温装置,所述电子枪发射平面电子束,其特征在于,所述装置还包括磁针,所述磁针通过加热样品杆的加热芯片置于所述平面电子束通道上,受所述加热芯片控制地产生强度可控的磁场,所述磁场用于调制所述平面电子束的相位,进而获得可控涡旋电子束。本发明还提供了一种利用上述装置产生涡旋电子束的方法,该装置结构简单,成本低,操作方法简单,且获得的涡旋电子束用于材料的表征。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 可控 涡旋 电子束 生成 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种可控涡旋电子束生成装置,包括含有磁针控温器、电子枪的透射电子显微镜,所述电子枪产生平面电子束,其特征在于,所述装置还包括磁针,所述磁针通过磁针控温器置于所述平面电子束通道上,受所述磁针控温器控制产生强度可控的磁场,所述磁场用于调制所述平面电子束的相位,进而获得可控涡旋电子束。
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