[发明专利]一种可控涡旋电子束生成方法、装置有效

专利信息
申请号: 201710896938.X 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN107887245B 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 田鹤;陈星;杜凯;孙土来;陈琼阳;陈鑫铠;任天星 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01J37/14 分类号: H01J37/14;H01J37/26
代理公司: 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 代理人: 胡红娟
地址: 310013 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种可控涡旋电子束生成装置,包括含有加热样品杆、光阑的控温装置,所述电子枪发射平面电子束,其特征在于,所述装置还包括磁针,所述磁针通过加热样品杆的加热芯片置于所述平面电子束通道上,受所述加热芯片控制地产生强度可控的磁场,所述磁场用于调制所述平面电子束的相位,进而获得可控涡旋电子束。本发明还提供了一种利用上述装置产生涡旋电子束的方法,该装置结构简单,成本低,操作方法简单,且获得的涡旋电子束用于材料的表征。
搜索关键词: 一种 可控 涡旋 电子束 生成 方法 装置
【主权项】:
一种可控涡旋电子束生成装置,包括含有磁针控温器、电子枪的透射电子显微镜,所述电子枪产生平面电子束,其特征在于,所述装置还包括磁针,所述磁针通过磁针控温器置于所述平面电子束通道上,受所述磁针控温器控制产生强度可控的磁场,所述磁场用于调制所述平面电子束的相位,进而获得可控涡旋电子束。
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