[发明专利]一种可控涡旋电子束生成方法、装置

权利要求书

1.一种可控涡旋电子束生成装置，包括含有磁针控温器、电子枪的透射电子显微镜，所述电子枪产生平面电子束，其特征在于，所述装置还包括磁针，所述磁针通过磁针控温器置于所述平面电子束通道上，受所述磁针控温器控制产生强度可控的磁场，所述磁场用于调制所述平面电子束的相位，进而获得可控涡旋电子束；

其中，所述磁针控温器为负载加热芯片的加热样品杆，或负载加热芯片、且具有加热功能的光阑杆，通过所述加热样品杆或光阑杆控制所述加热芯片的加热温度；

所述加热芯片的加热温度为25～800℃；

所述磁针水平置于加热芯片内加热极板对应的表面上，并填充导热介质于加热芯片的加热极板与磁针之间；

所述磁针针尖对齐所述加热芯片中心；

所述加热芯片中心处设有光阑通孔，所述光阑通孔的直径为20～200μm。

2.一种利用权利要求1所述的装置产生可控涡旋电子束的方法，包括以下步骤：

将磁针置于加热芯片表面，且磁针与加热芯片内的加热电极间具有良好的热传导特性；

通过加热样品杆或光阑杆将载有磁针的加热芯片置于透射电子显微镜内；

控制加热芯片的加热温度以获得可控涡旋电子束。