[发明专利]一种空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710895254.8 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107809221B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李国强;李洁 | 申请（专利权）人： | 佛山市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 王国标 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括支撑衬底、支撑层、薄膜结构层和顶电极；所述支撑衬底、支撑层与所述薄膜结构层形成的空腔为空气腔体，所述支撑衬底为空气腔底；所述支撑层设置在支撑衬底表面边缘处，形成空气腔壁；所述薄膜结构层设置在支撑衬底上，形成空气腔盖；所述薄膜结构层从下至上分别为底电极、压电层，所述顶电极位于所述压电层上。所述制备方法无需采用CMP工艺，无需引入牺牲层，保证压电层的晶体质量不受损伤，同时简化生产工艺，降低设备成本。该叠层支撑结构的空腔型薄膜体声波谐振器适用于超薄压电薄膜在FBAR中的应用，有益于提升射频滤波器器件工作频率，降低功耗，缓解目前无线频段紧张的现状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种空腔型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在制备衬底上制备薄膜结构层：①在制备衬底的一面沉积一层压电层；②在①制备的压电层上通过光刻、蒸镀、剥离得到底电极；(2)在步骤(1)制备的薄膜结构层上通过光刻、蒸镀、剥离得到支撑层；(3)通过光学对准技术使支撑层与支撑衬底连接固定，支撑衬底、薄膜结构层与支撑层之间形成空气腔体；(4)将制备衬底从薄膜结构层上剥离，使薄膜结构层中的压电层裸露出来；(5)在裸露出来的压电层上通过光刻、蒸镀、剥离得到顶电极。
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