[发明专利]一种空腔型薄膜体声波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种空腔型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)在制备衬底上制备薄膜结构层：

①在制备衬底的一面沉积一层压电层；

②在①制备的压电层上通过光刻、蒸镀、剥离得到底电极；

(2)在步骤(1)制备的薄膜结构层上通过光刻、蒸镀、剥离得到支撑层；

(3)通过光学对准技术使支撑层与支撑衬底连接固定，支撑衬底、薄膜结构层与支撑层之间形成空气腔体；

(4)将制备衬底从薄膜结构层上剥离，使薄膜结构层中的压电层裸露出来；

(5)在裸露出来的压电层上通过光刻、蒸镀、剥离得到顶电极；

由上述方法制备的空腔型薄膜体声波谐振器，包括支撑衬底、支撑层、薄膜结构层和顶电极；所述支撑衬底、支撑层与所述薄膜结构层形成的空腔为空气腔体，所述支撑衬底为空气腔底；所述支撑层设置在支撑衬底表面边缘处，形成空气腔壁；所述薄膜结构层设置在支撑衬底上，形成空气腔盖；所述薄膜结构层从下至上分别为底电极、压电层，所述顶电极位于所述压电层上；

支撑层材料为金锡合金，金硅合金，镍锡合金，铝锗合金中的一种或其任意组合。

2.根据权利要求1所述的一种空腔型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述支撑层的宽度≥100μm。

3.根据权利要求1所述的一种空腔型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述压电层为单晶态氮化铝层。

4.根据权利要求1所述的一种空腔型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，制备衬底及支撑衬底材料选自：硅、蓝宝石、LiGaO₂或金属。

5.根据权利要求1所述的一种空腔型薄膜体声波谐振器的制备方法，其特征在于，底电极和顶电极材料为Al、Mo、W、Pt、Ti、Au中的一种或其任意组合。