[发明专利]铝掺杂氧化锌透明导电薄膜、制备方法及薄膜太阳能电池在审
| 申请号： | 201710877957.8 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN107768022A | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | 孟磊;杨涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;H01B5/14;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括以二水合乙酸锌为溶质，六水合三氯化铝为掺杂剂，无水乙醇为溶剂，配置先驱液；利用先驱液在衬底上形成薄膜；将薄膜在氮气气氛进行热处理；以及将薄膜在氮气和氢气的合成气氛中进行热处理。本公开还提供了一种利用上述方法制备的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜以及利用氧化锌薄膜作为阳电极制备的薄膜太阳能电池。本公开铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法具有低公害、制造工艺简便、以及成本低廉等优点；铝掺杂氧化锌薄膜具有优良的导电性能、高可见光透过率以及平坦的表面；以铝掺杂氧化锌薄膜作为阳电极的非晶硅单结薄膜太阳能电池具有约7％的转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 氧化锌 透明 导电 薄膜 制备 方法 太阳能电池 | ||
【主权项】：
一种铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括：以二水合乙酸锌为溶质，六水合三氯化铝为掺杂剂，无水乙醇为溶剂，配置先驱液；利用所述先驱液在衬底上形成薄膜；将所述薄膜在氮气气氛进行热处理；以及将所述薄膜在氮气和氢气的合成气氛中进行热处理。
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