[发明专利]铝掺杂氧化锌透明导电薄膜、制备方法及薄膜太阳能电池

权利要求书

1.一种铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，包括：

以二水合乙酸锌为溶质，六水合三氯化铝为掺杂剂，无水乙醇为溶剂，配置先驱液；

利用所述先驱液在衬底上形成薄膜；

将所述薄膜在氮气气氛进行热处理；以及

将所述薄膜在氮气和氢气的合成气氛中进行热处理，包括：

将薄膜放置在导入97％的氮气和3％的氢气的红外线灯加热炉中，并将薄膜在450℃～500℃的加热炉中保温5～60min，然后薄膜随加热炉自然冷却；其中，所述97％的氮气和3％的氢气的合成气体导入加热炉的流速为0.8～1L/min；将薄膜在450℃～500℃的加热炉中保温5～60min的步骤之前，还包括：

在所述薄膜表面放置一个玻璃片，该玻璃片的面积大于该薄膜的面积。

2.根据权利要求1所述的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其中，所述二水合乙酸锌的浓度为0.5～0.75mol/L。

3.根据权利要求1所述的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其中，所述先驱液还包含稳定剂乙醇胺，所述二水合乙酸锌和乙醇胺的摩尔比为1∶1。

4.根据权利要求1所述的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其中，所述二水合乙酸锌和六水合三氯化铝的摩尔比为0.008∶1～0.012∶1。

5.根据权利要求1所述的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其中，在将所述薄膜在氮气气氛进行热处理的步骤中，

将薄膜放入一导入氮气的红外线灯加热炉中，并将薄膜在400℃～650℃的加热炉中保温1h～4h，然后薄膜随加热炉自然冷却；其中，所述氮气导入加热炉的流速为0.8～1L/min。

6.一种铝掺杂氧化锌透明导电薄膜，其采用权利要求1到5中任一项所述的氧化锌透明导电薄膜制备方法形成。

7.根据权利要求6所述的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜，其中，所述铝掺杂氧化锌透明导电薄膜为包含多个晶粒的多晶体，所述晶粒的粒径为20～30nm。

8.一种薄膜太阳能电池，包括阳电极，所述阳电极为权利要求7所述的铝掺杂氧化锌透明导电薄膜。