[发明专利]基板清洗治具在审
| 申请号： | 201710875733.3 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN109561601A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 周正勇 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/26 | 分类号： | H05K3/26 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开是关于一种基板清洗治具，包括支撑部和插接部。所述插接部包括至少一组相对设置的滑槽，用于配合基板边缘以引导基板与所述支撑部抵接。所述滑槽在所述基板插入方向上的末端与所述支撑部之间存在间隙。本公开通过为基板清洗治具设置相对的一组滑槽，以使滑槽与基板边缘配合以引导基板与所述支撑部抵接，便于基板导入且保证了基板在清洗治具中的稳定性。且所述滑槽在所述基板插入方向上的末端与所述支撑部之间存在间隙，减少了基板因与清洗治具过多接触而造成的划伤。 | ||
| 搜索关键词： | 滑槽 基板 基板清洗 支撑 治具 插入方向 清洗治具 引导基板 插接部 抵接 基板边缘 相对设置 板边缘 基板因 配合基 划伤 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基板清洗治具，其特征在于，包括支撑部和插接部；所述插接部包括至少一组相对设置的滑槽，用于配合基板边缘以引导基板与所述支撑部抵接；所述滑槽在所述基板插入方向上的末端与所述支撑部之间存在间隙。
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