[发明专利]蒸镀掩模、蒸镀掩模准备体、蒸镀掩模的制造方法、及有机半导体元件的制造方法有效
| 申请号： | 201710872210.3 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN107858642B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 武田利彦;小幡胜也;落合洋光 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使在大型化的情况下，也可以满足高精细化及轻质化二者，且可在保持强度的同时，形成高精细的蒸镀图案的蒸镀掩模、及可简便地制造该蒸镀掩模的蒸镀掩模的制造方法；蒸镀掩模准备体；以及可制造高精细的有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法。叠层设有多个缝隙(15)的金属掩模(10)和树脂掩模(20)，在树脂掩模(20)上设有用于构成多个画面所必要的开口部(25)，开口部(25)与要蒸镀制作的图案相对应，各缝隙(15)设于与至少1个画面整体相重叠的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 准备 制造 方法 有机半导体 元件 | ||
【主权项】：
一种蒸镀掩模，其用于同时形成多个画面的蒸镀图案，所述蒸镀掩模被固定在框架上使用，所述蒸镀掩模叠层有树脂掩模和设有多个缝隙的金属掩模，在所述树脂掩模上设有用于构成多个画面所必要的开口部，所述开口部与要蒸镀制作的图案相对应，各所述缝隙设于与至少1个画面整体相重叠的位置。
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