[发明专利]麦克风及其制造方法在审
| 申请号： | 201710872097.9 | 申请日： | 2017-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN108391216A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 俞一善 | 申请（专利权）人： | 现代自动车株式会社;起亚自动车株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;张微 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种麦克风及其制造方法，该麦克风包括：基板，其被配置成具有形成于基板中央部的通孔；振动膜，其被布置成覆盖基板上的通孔并包括狭缝图案，狭缝图案沿着振动膜的圆形边缘以多条线的方式布置；固定膜，其分离地安装在振动膜的上部，固定膜与振动膜之间具有空气层，并具有沿空气层的方向在固定膜与振动膜之间延伸的多个空气入口；以及支撑层，其被配置成支撑被分离安装在振动膜上的固定膜。该方法包括以下步骤：在基板上形成氧化层；在氧化层的上部形成振动膜；在振动膜的上部形成牺牲层，并且在牺牲层的上部形成固定膜；形成通孔；以及去除通孔的上部的氧化层，并且通过空气入口去除牺牲层的中央部来形成空气层和支撑层。 | ||
| 搜索关键词： | 振动膜 固定膜 通孔 麦克风 空气层 牺牲层 氧化层 空气入口 狭缝图案 支撑层 基板 去除 基板中央部 分离安装 覆盖基板 圆形边缘 中央部 配置 制造 延伸 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种麦克风，包括：基板，其被配置成具有形成于所述基板中央部的通孔；振动膜，其被布置成覆盖所述基板上的通孔并包括狭缝图案，所述狭缝图案沿着所述振动膜的圆形边缘以多条线的方式布置；固定膜，其分离地安装在所述振动膜的上部，所述固定膜与所述振动膜之间具有空气层，并具有沿所述空气层的方向在所述固定膜与所述振动膜之间延伸的多个空气入口；以及支撑层，其被配置成支撑被分离安装在所述振动膜上的固定膜。
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