[发明专利]一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机在审
| 申请号： | 201710848657.7 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN109521647A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 孙雷 | 申请（专利权）人： | 北京德瑞工贸有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100083 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Micro‑LED无掩模扫描式紫外曝光机，包括Micro‑LED、计算机及控制软件、待曝光工件表面和工作台。Micro‑LED发出的光直接作用在待曝光工件表面上，用计算机及控制软件(包括运动控制和图形控制)控制Micro‑LED每个或若干个刷新周期刷新下一位置的图形，使各图形连续拼接成所需要的曝光图形。本发明一种基于Micro‑LED无掩模扫描式紫外曝光机，由于Micro‑LED发出的光直接作用在待曝光工件表面上，无复杂的光机损耗，可以实现更高的能量利用效率、更高的曝光强度、更快的加工速度等一系列革命性的技术进步。并且结构小巧，易于和机器人相结合接入自动化流水线。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外曝光机 曝光工件 扫描式 无掩模 控制软件 能量利用效率 自动化流水线 技术进步 连续拼接 曝光图形 刷新周期 图形控制 运动控制 计算机 工作台 光机 曝光 加工 | ||
【主权项】：
1.一种基于Micro‑LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，包括Micro‑LED、计算机及控制软件、待曝光工件表面和工作台。
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