[发明专利]一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机

权利要求书

1.一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，包括Micro-LED、计算机及控制软件、待曝光工件表面和工作台。

2.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述Micro-LED是在芯片集成高密度微小尺寸LED阵列，并保证每一个LED像素可定址，并单独驱动点亮的一种微型显示芯片及其各种封装产品。

3.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述Micro-LED用作光源及图形投影，光波长为190～420nm，每个LED像素尺寸为：长≥2μm，宽≥2μm。LED阵列的行数M≥2，列数N≥2。

4.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述计算机及控制软件包括运动控制和图形控制，运动控制是指在X、Y轴上的运动控制，图形控制是指图形分切，瞬时图形数据向Micro-LED传输。

5.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述用计算机及控制软件控制Micro-LED每个或若干个刷新周期刷新下一位置的图形，使各图形连续拼接成所需曝光图形。

6.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述待曝光工件表面在运动和静止状态均与Micro-LED平行，Micro-LED的面积小于待曝光工件表面。

7.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述Micro-LED与待曝光工件表面没有间隙或有较小间隙，这样保证单个Micro-LED像素发射光线抵达曝光工作面光程较小进而形成较小的光斑，保证曝光图像精度。

8.如权利要求1所述的一种基于Micro-LED无掩模扫描式紫外曝光机，其特征在于，所述工作台用于放置待曝光工件表面，并固定Micro-LED的机械运动部件。