[发明专利]飞秒激光加工系统及方法有效
| 申请号： | 201710811655.0 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN107378235B | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 孙小燕;褚东凯;胡友旺;段吉安;银恺 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | B23K26/067 | 分类号： | B23K26/067;B23K26/0622;B23K26/064;B23K26/03 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种飞秒激光加工系统及方法，所述方法包括：开启所述第一光闸，关闭所述第二光闸，所述第一光路将所述第一飞秒激光束的激光通量调整至低于所述待加工工件的改性阈值，并将经调整后的第一飞秒激光束传播至待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行辐照；开启所述第二光闸，所述第二光路将所述第二飞秒激光束聚焦至所述待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行加工。一方面通过在对待加工工件进行加工之前，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辐照；另一方面通过在对待加工工件进行加工过程中，第一飞秒激光束对待加工工件的待加工区域进行辅助加工，可大幅度提高加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光加工系统，其特征在于，所述系统包括飞秒激光发射装置、第一光路以及第二光路；其中，所述飞秒激光发射装置包括至少一个飞秒激光器，用于发射第一飞秒激光束和第二飞秒激光束；所述第一光路用于将所述第一飞秒激光束的激光通量调整至低于待加工工件的改性阈值，并将经调整后的第一飞秒激光束传播至待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件的待加工区域进行辐照；所述第一光路包括同轴布置的第一光闸、第一衰减器和透镜；所述第一光闸用于控制所述第一飞秒激光束的通断，所述第一衰减器用于调整所述第一飞秒激光束的激光通量，所述透镜用于将所述第一飞秒激光束辐照到所述待加工工件上；所述第二光路用于将所述第二飞秒激光束聚焦至所述待加工工件的待加工区域，对所述待加工工件进行加工；所述第二光路包括同轴布置的第二光闸、第二衰减器和物镜；所述第二光闸用于控制所述第二飞秒激光束的通断，所述第二衰减器用于调整所述第二飞秒激光束的激光通量，所述物镜用于将所述第二飞秒激光束聚焦在所述待加工工件的表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中南大学，未经中南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710811655.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
