[发明专利]气体中痕量水分标准发生系统

摘要

本发明属于痕量水分标准生成技术领域，公开了一种气体中痕量水分标准发生系统，包括气体管路，一端连接有高纯气体源，且气体管路上设有减压阀、纯化器以及稳压阀；第一支路，连通在气体管路的一端，其上设有第一质量流量控制器、水分检测装置以及第一流量计；第二支路，与气体管路的一端连通，其上设有第二质量流量控制器、磁悬浮天平以及第一背压阀；至少一条稀释管路，一端能够与第二支路连通，另一端连通有两条分支管路，其中一条分支管路与第一支路连通，另一条分支管路上设有第二流量计，稀释管路上设有第三质量流量控制器。上述结构能够生成水分含量低于1μmol/mol的痕量水分标准，对精密露点仪或微量水分仪进行校准，提高了校准的准确度。

主权项

一种气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，包括：气体管路(1)，一端连接有装有高纯气体的高纯气体源(7)，且所述气体管路(1)沿高纯气体流出方向依次设置有减压阀(8)、纯化器(9)以及稳压阀(10)；第一支路(2)，连通在所述气体管路(1)未连接所述高纯气体源(7)的一端，所述第一支路(2)上设有第一质量流量控制器(11)、水分检测装置(12)以及第一流量计(13)；第二支路(3)，与所述气体管路(1)未连接所述高纯气体源(7)的一端连通，所述第二支路(3)上沿气体流通方向依次设有第二质量流量控制器(17)、磁悬浮天平(18)以及第一背压阀(19)，所述磁悬浮天平(18)内设有水渗透管(20)；稀释管路，设置有至少一条，所述稀释管路一端能够与所述第二支路(3)连通且位于所述磁悬浮天平(18)和第一背压阀(19)之间，另一端连通有两条均设有阀门的分支管路(5)，其中一条分支管路(5)与所述第一支路(2)连通，另一条分支管路(5)上设有第二流量计(21)，所述稀释管路上设有第三质量流量控制器(22)。