[发明专利]气体中痕量水分标准发生系统

权利要求书

1.一种气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，包括：

气体管路（1），一端连接有装有高纯气体的高纯气体源（7），且所述气体管路（1）沿高纯气体流出方向依次设置有减压阀（8）、纯化器（9）以及稳压阀（10）；

第一支路（2），连通在所述气体管路（1）未连接所述高纯气体源（7）的一端，所述第一支路（2）上设有第一质量流量控制器（11）、水分检测装置（12）以及第一流量计（13）；

第二支路（3），与所述气体管路（1）未连接所述高纯气体源（7）的一端连通，所述第二支路（3）上沿气体流通方向依次设有第二质量流量控制器（17）、磁悬浮天平（18）以及第一背压阀（19），所述磁悬浮天平（18）内设有水渗透管（20）；

稀释管路，设置有至少一条，所述稀释管路一端能够与所述第二支路（3）连通且位于所述磁悬浮天平（18）和第一背压阀（19）之间，另一端连通有两条均设有阀门的分支管路（5），其中一条分支管路（5）与所述第一支路（2）连通，另一条分支管路（5）上设有第二流量计（21），所述稀释管路上设有第三质量流量控制器（22）；

其中一条稀释管路上的第三质量流量控制器（22）的量程与所述第二质量流量控制器（17）的量程相同。

2.根据权利要求1所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，还包括第三支路（4），每条稀释管路均连通于所述第三支路（4）的一端，所述第三支路（4）的另一端连通于所述第二支路（3）且位于所述磁悬浮天平（18）和第一背压阀（19）之间。

3.根据权利要求1所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，设有第二流量计（21）的分支管路（5）上还设有三通阀（30），所述三通阀（30）设置在所述第二流量计（21）与所述阀门之间。

4.根据权利要求1所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，所述稀释管路设置有两条，且两条所述稀释管路上的第三质量流量控制器（22）的量程不同。

5.根据权利要求4所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，其中一条稀释管路上的第三质量流量控制器（22）的量程为另一条稀释管路上的第三质量流量控制器（22）的量程的1/8-1/10。

6.根据权利要求1所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，所述第一支路（2）上还设有放空管路（6），所述放空管路（6）设置在所述第一质量流量控制器（11）和第一流量计（13）之间，且所述放空管路（6）上设有第二背压阀（14）。

7.根据权利要求6所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，所述放空管路（6）上设有第一压力表（15），用于检测所述放空管路（6）上的压力。

8.根据权利要求1所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，所述第一支路（2）上设有第二压力表（16），所述第二压力表（16）设置在所述第一质量流量控制器（11）与所述稳压阀（10）之间。

9.根据权利要求2所述的气体中痕量水分标准发生系统，其特征在于，所述第二支路（3）上设有第三压力表（29），所述第三压力表（29）设置在所述第一背压阀（19）与所述第三支路（4）之间。