[发明专利]显影装置及其显影方法有效
| 申请号： | 201710780192.6 | 申请日： | 2017-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN107479339B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 吴克芳;周伟;徐加荣;李允伟;王朝磙;王震宇;陈远丹 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 姜春咸;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显影装置，包括显影机构，所述显影机构用于对基板进行显影，所述显影装置还包括加热机构，所述加热机构包括多个加热单元，每个加热单元对应所述基板上的至少一个显影区域，不同加热单元所对应的显影区域不同，且多个所述加热单元能够分别独立控制。相应地，本发明还提供一种利用所述显影装置的显影方法。本发明能够使得基板上各显影区域的均一性提高。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置，包括显影机构，所述显影机构用于对基板进行显影，其特征在于，所述显影装置还包括加热机构，所述加热机构包括多个加热单元，每个加热单元对应所述基板上的至少一个显影区域，不同加热单元所对应的显影区域不同，且多个所述加热单元能够分别独立控制；所述显影装置还包括：控制机构，用于根据所述基板上的异常区域的位置，开启能够加热该异常区域的加热单元；所述异常区域为未加热情况下，显影后保留的图形尺寸大于目标尺寸的区域；所述控制机构包括：加热时间获取模块，用于根据预设的映射关系获取目标加热时间，所述映射关系为基板上多个显影区域显影后保留的图形尺寸的离散度与该基板上异常区域的加热时间之间的映射关系，所述目标加热时间为最小离散度对应的加热时间；加热时间控制模块，用于根据所述目标加热时间控制加热单元对所述异常区域进行加热的时间。
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