[发明专利]一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺

摘要

本发明公开了一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，包括以下步骤：1)在蓝宝石衬底表面上生长所需外延层，并根据所需将外延层进行单元区域划分；2)根据需要在单元区域之间填充导电绝缘材料：3)将外延层和转移衬底粘合在一起；4)按照逆时针或顺时针方向，利用单光束或双光束激光辐照方式，由外向内直线渐进式扫描方式进行逐点扫描，实现蓝宝石衬底和外延层分离，并获得良好的剥离效果。

主权项

一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)在蓝宝石衬底(100)上完成外延层(101)的生长，对该外延层(101)进行单位区域划分形成沟道，在外延层单位区域间的沟道内制备硬质或柔性导电绝缘层，随后在外延层(101)表面上制备第一层粘合层；2)在整面转移衬底之上制备第二层粘合层；3)将第一层粘合层和第二层粘合层粘附在一起，从而将转移衬底和外延层连接在一起；4)选择光斑形貌、激光能量和激光光束，利用光斑或载具进行微米级移动，采用直线型向内渐进式逐点扫描，最终将蓝宝石衬底(100)和外延层(101)完整的分开。