[发明专利]一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺

权利要求书

1.一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，其特征在于，包括以下步骤：

1）在蓝宝石衬底（100）上完成外延层（101）的生长，对该外延层（101）进行单位区域划分形成沟道，在外延层单位区域间的沟道内制备硬质或柔性绝缘层，随后在外延层（101）表面上制备第一层粘合层；

2）在整面转移衬底之上制备第二层粘合层；

3）将第一层粘合层和第二层粘合层粘附在一起，从而将转移衬底和外延层连接在一起；

4）选择光斑形貌、激光能量和激光光束，利用光斑或载具进行微米级移动，激光（102）采用直线型向内渐进式逐点扫描，按照由外向内直线型渐进方式以微米级移动逐点扫描光斑，最终将蓝宝石衬底（100）和外延层（101）完整的分开；

光斑采用多种光束辐照方式，且光斑之间采用有重叠方式实现蓝宝石衬底激光剥离，多种光束辐照方式采用单光束或双光束方式实现激光剥离；激光为脉冲或连续激光光源，其光斑为矩形，边长尺寸在数十微米到数千微米之间可调；由外向内直线型渐进方式按照顺时针或逆时针方向，依照矩形边长由外向内逐点进行扫描。

2.根据权利要求1所述的一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，其特征在于，步骤4）中，还包括采用光斑重叠辐照剥离方式，以及采用双光束辐照方式对外延层（101）进行激光剥离。

3.根据权利要求2所述的一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，其特征在于，激光光斑重叠区域的面积在10%-90%范围之间可调。

4.根据权利要求1所述的一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，其特征在于，激光加工光斑微米级移动距离在数十至数千微米范围内可调。

5.根据权利要求1所述的一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺，其特征在于，微米级移动通过激光光斑移动或载具移动来实现。