[发明专利]加工装置有效
| 申请号： | 201710759977.5 | 申请日： | 2017-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN108213701B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 清水仁志;松本赖幸;千野翔太 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | B23K26/142 | 分类号： | B23K26/142 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于，提供一种即使在使用了集尘机构的情况下也能够将加工装置内的温度维持为恒定的加工装置。本发明的加工装置具备：加工台，载置被加工物；双重构造的覆盖部，包括：第一覆盖框体，划分出配置有所述加工台的加工室；以及第二覆盖框体，隔着间隙空间包围第一覆盖框体；集尘机构，包括：外部气体导入部，贯通第二覆盖框体和第一覆盖框体，并向所述加工室内导入外部气体；以及排气部，贯通第一覆盖框体和第二覆盖框体，并对所述加工室内的空气进行排气；以及恒温空气导入口，设置在所述第二覆盖框体，相对于所述加工室以及外部气体调整为正压的恒温空气从所述恒温空气导入口供给到第一覆盖框体与第二覆盖框体的所述间隙空间。 | ||
| 搜索关键词： | 覆盖框 加工装置 恒温空气 外部气体 集尘机构 间隙空间 加工室 加工台 贯通 室内 被加工物 双重构造 温度维持 导入部 导入口 恒定的 排气部 排气 载置 正压 加工 包围 覆盖 配置 | ||
【主权项】：
1.一种加工装置，具备：/n加工台，载置被加工物；/n双重构造的覆盖部，包括：第一覆盖框体，划分出配置有所述加工台的加工室；以及第二覆盖框体，隔着间隙空间包围第一覆盖框体；/n集尘机构，包括：外部气体导入部，贯通第二覆盖框体和第一覆盖框体，并向所述加工室内导入外部气体；以及排气部，贯通第一覆盖框体和第二覆盖框体，并对所述加工室内的空气进行排气；以及/n恒温空气导入口，设置在所述第二覆盖框体，/n相对于所述加工室以及外部气体调整为正压的恒温空气从所述恒温空气导入口供给到第一覆盖框体与第二覆盖框体的所述间隙空间。/n
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