[发明专利]加工装置

说明书

本发明的课题在于，提供一种即使在使用了集尘机构的情况下也能够将加工装置内的温度维持为恒定的加工装置。本发明的加工装置具备：加工台，载置被加工物；双重构造的覆盖部，包括：第一覆盖框体，划分出配置有所述加工台的加工室；以及第二覆盖框体，隔着间隙空间包围第一覆盖框体；集尘机构，包括：外部气体导入部，贯通第二覆盖框体和第一覆盖框体，并向所述加工室内导入外部气体；以及排气部，贯通第一覆盖框体和第二覆盖框体，并对所述加工室内的空气进行排气；以及恒温空气导入口，设置在所述第二覆盖框体，相对于所述加工室以及外部气体调整为正压的恒温空气从所述恒温空气导入口供给到第一覆盖框体与第二覆盖框体的所述间隙空间。

技术领域

本发明涉及在加工时产生粉尘、气化物的加工装置。

背景技术

在电路基板的开孔等加工中广泛使用激光器加工装置。激光器加工装置在加工时会产生粉尘、气化物。该粉尘、气化物会产生如下的问题：(i)产生的粉尘进入到激光器的光路，从而使加工状态不稳定化；(ii)粉尘在装置内沉积，需要进行定期的清扫；(iii)根据气化物，还存在具有臭味的气化物、对人体有害的成分；(iv)在无尘室的情况下，由于粉尘跑到装置外，从而导致无尘室的等级下降。

为了防止产生上述的问题，已知有安装了对粉尘、气化物进行集尘的集尘机构的激光器加工装置。例如，在专利文献1记载了一种激光器加工装置，该激光器加工装置为了有效地进行集尘，使用导入的外部气体在装置内形成粉尘、气化物的集尘、排气流路。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-95530号公报

但是，在像激光器加工装置那样的在装置内产生粉尘、气化物的加工装置中，当通过集尘机构将外部气体导入到加工装置内时，存在加工装置内的设定温度根据外部气体的温度而变动的情况。由此，存在加工精度变差的情况。例如，存在被加工物(以下，也称为工件)根据温度而伸缩，从而加工位置精度变差的情况。此外，还存在加工装置的构成构件根据温度而伸缩，从而加工位置精度变差的问题。

对此，例如能够通过使用精密空调机，从而使加工装置内的温度保持恒定。但是，精密空调机特别是风量大的精密空调机价格昂贵，因此存在包括加工装置的加工系统的费用增大这样的问题。此外，在无尘室中使用的情况下，需要使加工装置内相对于周边环境为负压，因此会导入不少的外部气体，也存在难以使加工装置内的温度保持恒定的问题。因此，需要一种即使在使用了集尘机构的情况下也能够将加工装置内的温度维持为恒定的加工装置。进而，并不限定于激光器加工装置，对于在加工时产生粉尘、气化物并且要求将加工时的温度维持为恒定的其它加工装置也存在同样的需求。

发明内容

发明要解决的课题

因此，本发明的目的在于，提供一种即使在使用了集尘机构的情况下也能够将加工装置内的温度维持为恒定的加工装置。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的一个方式涉及的加工装置的特征在于，具备：加工台，载置被加工物；双重构造的覆盖部，包括：第一覆盖框体，划分出配置有所述加工台的加工室；以及第二覆盖框体，隔着间隙空间包围第一覆盖框体；集尘机构，包括：外部气体导入部，贯通第二覆盖框体和第一覆盖框体，并向所述加工室内导入外部气体；以及排气部，贯通第一覆盖框体和第二覆盖框体，并对所述加工室内的空气进行排气；以及恒温空气导入口，设置在所述第二覆盖框体，相对于所述加工室以及外部气体调整为正压的恒温空气从所述恒温空气导入口供给到第一覆盖框体与第二覆盖框体的所述间隙空间。

根据上述方式，使用双重构造的覆盖部，并且相对于加工室以及外部气体调整为正压的恒温空气从恒温空气导入口供给到第一覆盖框体与第二覆盖框体的间隙空间，因此即使在使用了集尘机构的情况下，也能够将加工室内的温度维持为恒定。此外，还能够抑制在加工室内产生的粉尘、气化物泄漏到加工装置外。