[发明专利]激光清洗头有效
| 申请号： | 201710716390.6 | 申请日： | 2017-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN107442521B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张志研;林学春;梁浩;王奕博;刘燕楠;马文浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种激光清洗头，包括：脉冲激光源，用于输出脉冲激光光束；传能光纤，其一端与脉冲激光源连接，用于传输脉冲激光光束；准直器，与传能光纤的另一端连接，用于准直脉冲激光光束；反射镜，用于将准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面。本发明通过采用传能光纤和反射镜，使脉冲激光光束射入至清洗样件的表面，因此，激光清洗头的结构简单，操作便捷。反射镜采用可调谐聚焦光束反射镜，在反射激光光束的同时能够对光束聚焦整形，可使得射出的光束为高功率矩形光束，从而射到清洗物件表面的光束为线光束，形成线斑面，因此清洗范围大，且避免了传统清洗方式中点斑衔接时存在的微小缝隙，提高了整体的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 洗头 | ||
【主权项】：
一种激光清洗头，包括：脉冲激光源，用于输出脉冲激光光束；传能光纤，其一端与所述脉冲激光源连接，用于传输所述脉冲激光光束；准直器，与所述传能光纤的另一端连接，用于准直所述脉冲激光光束；反射镜，用于将所述准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面。
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