[发明专利]激光清洗头有效
申请号: | 201710716390.6 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN107442521B | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 张志研;林学春;梁浩;王奕博;刘燕楠;马文浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;G02B27/09 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 洗头 | ||
一种激光清洗头,包括:脉冲激光源,用于输出脉冲激光光束;传能光纤,其一端与脉冲激光源连接,用于传输脉冲激光光束;准直器,与传能光纤的另一端连接,用于准直脉冲激光光束;反射镜,用于将准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面。本发明通过采用传能光纤和反射镜,使脉冲激光光束射入至清洗样件的表面,因此,激光清洗头的结构简单,操作便捷。反射镜采用可调谐聚焦光束反射镜,在反射激光光束的同时能够对光束聚焦整形,可使得射出的光束为高功率矩形光束,从而射到清洗物件表面的光束为线光束,形成线斑面,因此清洗范围大,且避免了传统清洗方式中点斑衔接时存在的微小缝隙,提高了整体的清洗效果。
技术领域
本发明属于激光清洗领域,更具体地涉及一种激光清洗头。
背景技术
激光清洗是一种高效、绿色的清洗技术,相对于化学清洗及机械清洗有一定优势,其具有不需要任何化学试剂、无研磨、无应力、无耗材、对基材损伤小、清洁度高等优点。激光利用光纤传输引导,可清洗不易达到的部位,适用范围广泛,例如除锈、除漆、除泥污、晶片表面处理等。该技术已逐步应用于各领域。随着市场不断发展及应用的广泛性,越来越多的企业、工厂开始采用这种激光清洗技术来代替传统的清洗技术,这时就出现一个根本性问题需要解决,就是清洗工作的效率,现在的激光清洗系统中激光加工头中的激光经过激光反射镜后通过聚焦镜聚焦后作用在清洗样件表面,通常反射镜出来的光束经过聚焦后形成一个很小的光斑,这样在激光清洗时就在清洗工件上形成点斑面,由于点斑面的清洗范围很窄,而且点斑与点斑在清洗时衔接上会有微小缝隙,会使整体清洗效果不很理想,点斑面的清洗方式也会影响到整体的激光清洗效率。
发明内容
基于以上问题,本发明的主要目的在于提出一种激光清洗头,用于解决以上技术问题的至少之一。
为了实现上述目的,本发明提出一种激光清洗头,包括:
脉冲激光源,用于输出脉冲激光光束;
传能光纤,其一端与脉冲激光源连接,用于传输脉冲激光光束;
准直器,与传能光纤的另一端连接,用于准直脉冲激光光束;
反射镜,用于将准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面。
在本发明的一些实施例中,上述反射镜为可调谐聚焦光束反射镜;该反射镜还用于对脉冲激光光束进行聚焦,以使脉冲激光光束形成线形光束后反射至清洗样件的表面。
在本发明的一些实施例中,上述激光清洗头还包括与可调谐聚焦光束反射镜连接的频率调节装置,用于使可调谐聚焦光束反射镜与水平面的角度在36°~58°之间摆动,以使线形光束形成线形光束面。
在本发明的一些实施例中,上述激光清洗头还包括聚焦镜,用于对反射镜反射后的脉冲激光光束聚焦形成聚焦光束,该聚焦光束射入至清洗样件的表面。
在本发明的一些实施例中,上述脉冲激光源为纳秒脉冲激光源;优选地,其输出功率为600~1000W。
在本发明的一些实施例中,上述传能光纤的芯径为100~800μm。
在本发明的一些实施例中,上述清洗样件包括金属材料或非金属材料。
在本发明的一些实施例中,上述清洗样件包括锈金属板或漆板。
本发明提出的激光清洗头,具有以下有益效果:
1、本发明通过采用传能光纤和反射镜,使脉冲激光光束射入至清洗样件的表面,因此,激光清洗头的结构简单,操作便捷;
2、反射镜采用可调谐聚焦光束反射镜,在反射激光光束的同时能够对光束聚焦整形,使得射出的光束为高功率线形光束,从而射到清洗物件表面的光束为线光束,形成线斑面,因此清洗范围大,且避免了传统清洗方式中点斑衔接时存在的微小缝隙,提高了整体的清洗效果;
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