[发明专利]一种传送装置及真空溅射设备

摘要

本发明公开了一种传送装置，该传送装置包括第一导轨、第二导轨及位于第一导轨、第二导轨之间的承载机构；承载机构包括第一端部和第二端部；其中，第一端部相对第一导轨设置，第一端部和第一导轨上设置有极性相同第一磁铁和第二磁铁；第二端部相对第二导轨设置，第二端部和第二导轨上设置有极性相同的第三磁铁和第四磁铁；以使承载机构悬浮于第一导轨与第二导轨之间。通过上述方式，本发明能够增强传送装置的传送稳定性。

主权项

1.一种传送装置，其特征在于，所述传送装置包括：第一导轨、第二导轨及位于所述第一导轨、第二导轨之间的承载机构；所述承载机构包括第一端部、第二端部及位于所述第一端部、第二端部之间的容纳空间，所述容纳空间用于装载被传送物；其中，所述第一端部相对所述第一导轨设置，所述第一端部上设置有第一磁铁，且所述第一导轨上设置有与所述第一磁铁极性相同的第二磁铁；所述第二端部相对所述第二导轨设置，所述第二端部上设置有第三磁铁，且所述第二导轨上设置有与所述第三磁铁极性相同的第四磁铁；以使所述承载机构悬浮于所述第一导轨与第二导轨之间；其中，所述传送装置为直立式传送装置，以使所述被传送物以直立状态进行传送，其中，所述第一导轨位于所述承载机构的上方，所述第二导轨位于所述承载机构的下方，所述传送装置还包括驱动机构，所述驱动机构位于所述第二导轨的下方。