[发明专利]一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极及其制备方法在审
| 申请号： | 201710702156.8 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN107452818A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 夏申江;车兆华;周建民;黄海青;屠友明 | 申请（专利权）人： | 蚌埠兴科玻璃有限公司;中建材光电装备（太仓）有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | H01L31/0224 | 分类号： | H01L31/0224;H01L31/0749 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极，包括由下至上依次设置的衬底、金属导电层、阻挡层、Na合金层与外保护导电层；所述阻挡层为过渡金属氮化物或氮氧化物；所述Na合金层由Na与另一种合金元素构成，Na合金层中的Na含量为2～10%摩尔比；Na合金层厚度为20～50nm；采用磁控溅射在衬底上依次沉积各个结构层即完成制备；Na合金层作为Na扩散源，为铜铟镓硒光吸收层提供晶体生长需要的Na，阻挡层能够阻止Na向衬底方向扩散，同时也阻止衬底中杂质向铜铟镓硒光吸收层扩散，实现Na的精准控制，另外，阻挡层也阻止了在沉积过程中硒元素向金属导电层的扩散，避免了硒和金属导电层之间的反应，确保金属导电层在铜铟镓硒光吸收层生成过程中的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜铟镓硒 薄膜 太阳能电池 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铜铟镓硒薄膜太阳能电池背电极，其特征在于，包括由下至上依次设置的衬底、金属导电层、阻挡层、Na合金层与外保护导电层；所述阻挡层为过渡金属氮化物或氮氧化物；所述Na合金层由Na与另一种合金元素构成，Na合金层中的Na含量为2～10%摩尔比；Na合金层厚度为20～50nm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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