[发明专利]一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备

摘要

本发明涉及一种清洗设备，尤其涉及一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备。本发明要解决的技术问题是提供一种清洗高效，安全性能高的用于电子产品制造的晶圆清洗设备。为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备，包括有底板、支杆、清洗框、出液管、阀门、支撑架、顶板、升降机构等；底板顶部中间左右对称设有支杆，支杆顶端连接有清洗框，清洗框与底板之间连接有旋转机构，清洗框左壁底部连接有出液管，出液管上设有阀门，底板顶部左右两端均设有支撑架，支撑架顶端安装有顶板，顶板底部中间安装有升降机构，升降机构底部连接有放置框。本发明达到了操作过程简单，安全性高的效果。

主权项

一种用于电子产品制造的晶圆清洗设备，其特征在于，包括有底板(1)、支杆(2)、清洗框(3)、出液管(4)、阀门(5)、支撑架(6)、顶板(7)、升降机构(8)、放置框(9)、隔栏(10)、风干机构(11)和旋转机构(12)，底板(1)顶部中间左右对称设有支杆(2)，支杆(2)顶端连接有清洗框(3)，清洗框(3)与底板(1)之间连接有旋转机构(12)，清洗框(3)左壁底部连接有出液管(4)，出液管(4)上设有阀门(5)，底板(1)顶部左右两端均设有支撑架(6)，支撑架(6)顶端安装有顶板(7)，顶板(7)底部中间安装有升降机构(8)，升降机构(8)底部连接有放置框(9)，放置框(9)内设有隔栏(10)，支撑架(6)内侧中间安装有风干机构(11)。