[发明专利]微传感器有效
| 申请号： | 201710679471.3 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN107727713B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 安范模;朴胜浩;边圣铉 | 申请（专利权）人： | 普因特工程有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 汪丽红 |
| 地址： | 韩国忠淸南道*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微传感器，尤其涉及一种第一传感器电极形成到基板的一侧，第二传感器电极形成到所述基板的另一侧，且在所述基板形成从所述基板的一侧贯通至所述基板的另一侧的蚀刻孔，配置到所述第一传感器电极与所述第二传感器电极之间的感测物质进入到所述蚀刻孔，因此在检测气体时，可将空气中的水分的影响最小化的微传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 | ||
【主权项】：
一种微传感器，其特征在于，包括：基板；以及传感器电极部，形成到所述基板上，且所述传感器电极部包括第一传感器电极及与所述第一传感器电极相隔地配置的第二传感器电极，所述第一传感器电极形成到所述基板的一侧，所述第二传感器电极形成到所述基板的另一侧，所述基板形成从所述基板的一侧贯通至所述基板的另一侧的蚀刻孔。
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