[发明专利]退火设备工艺能力的监控方法

摘要

本发明提供了一种退火设备工艺能力的监控方法，通过在裸片晶圆表面形成第一氧化层，并测量所述第一氧化层的厚度，再对所述第一氧化层的进行一退火工艺，形成第二氧化层，然后测试所述第二氧化层的厚度，通过判断所述第一氧化层和所述第二氧化层的厚度差是否符合控制要求来判断退火设备的工艺能力，若其厚度差满足控制要求，则判定所述退火设备状况正常，适用于进行退火工艺，可进行产品的批量生产；若不满足，则判定所述退火设备状况异常，不适用于进行退火工艺，不可进行产品的批量生产。本发明提供的退火设备工艺能力的监控方法简单有效，提高了产品的良率，避免了批量不良品的产生。

主权项

一种退火设备工艺能力的监控方法，其特征在于，所述退火设备用于对氧化层进行退火，所述退火设备工艺能力的监控方法包括：提供一裸片晶圆；在所述裸片晶圆上形成第一氧化层；测试所述第一氧化层的厚度；对所述第一氧化层进行退火，形成第二氧化层；测试所述第二氧化层的厚度，并判断所述第一氧化层和所述第二氧化层的厚度差是否符合控制要求。