[发明专利]一种膜上膜内缺陷的检测方法在审
| 申请号： | 201710675809.8 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN109387527A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 郭连俊;杨慎东;颜圣佑 | 申请（专利权）人： | 苏州精濑光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学检测技术领域，具体地指一种膜上膜内缺陷的检测方法。驱动缺陷扫描单元对透明的待测基板进行扫描，获取待测基板缺陷部分；将缺陷部分的最大或最小灰阶值与第一标准值进行对比，通过将两者的差值与设定值进行比较，判断该缺陷部分是位于膜内还是膜上。本发明通过待测基板和空气折射率不同这一基本原理，位于膜上和膜内的缺陷在摄取影像上呈现不同的灰阶图像，然后通过对比确定缺陷是位于膜上还是膜内，能够大幅度提高缺陷部位的检测效率，节约大量的时间，具有极大的推广价值。 | ||
| 搜索关键词： | 待测基板 上膜 检测 光学检测技术 缺陷扫描单元 空气折射率 灰阶图像 缺陷部位 最小灰阶 透明的 摄取 影像 扫描 驱动 节约 | ||
【主权项】：
1.一种膜上膜内缺陷的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：1)、驱动缺陷扫描单元(2)对沉积透明膜(3)的待测基板扫描，获取待测基板的缺陷部分的扫描影像；2)、将所述缺陷部分的最大灰阶值与第一标准值进行对比，若两者的差值小于第一设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷；若两者的差值大于第一设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷；或者，将所述缺陷部分的最小灰阶值与所述第一标准值进行对比，若两者的差值小于第二设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)上的膜上缺陷；若两者的差值大于第二设定值，则判定该缺陷部分为位于透明膜(3)内部的膜内缺陷。
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