[发明专利]多晶粒压合机

摘要

本公开提供一种多晶粒压合机，包括基座、水平移动载台及龙门支架，水平移动载台设于基座并设有晶粒旋转台及基板旋转台。龙门支架设于基座并设有升降机构，升降机构控制一吸取头的升降。第一对位镜头组设于水平移动载台并校正吸取头的位置。第二对位镜头组设于龙门支架并校正下方晶粒旋转台及基板旋转台的位置。通过水平移动载台精准地在不同时间移动晶粒旋转台或基板旋转台于吸取头下方，由升降机构适时控制吸取头下降，让吸取头一次吸取晶粒旋转台上的多个颗微型晶粒，或是将多个微型晶粒加压安装于基板旋转台上的接收基板。本公开技术方案可满足以微米间距将微型晶粒安装于接收基板的作业。

主权项

1.一种多晶粒压合机，包括：一基座；一水平移动载台，安装于该基座上，能于水平方向精密移动，该水平移动载台上另安装着能独立旋转的三个晶粒旋转台及一基板旋转台；以及一龙门支架，树立固定于该基座，且不干涉到该水平移动载台的移动，该龙门支架上安装着一升降机构，该升降机构能控制一吸取头的升降，该吸取头由下而上至少包括一吸取单元及一旋转单元；其中该水平移动载台上另安装着一第一对位镜头组，该第一对位镜头组是朝上方拍摄，用以校正该吸取头的位置；该龙门支架处另安装着一第二对位镜头组，该第二对位镜头组是朝下方拍摄，用以校正下方该晶粒旋转台及该基板旋转台的位置；通过该水平移动载台精准地在不同时间移动该晶粒旋转台或该基板旋转台于该吸取头下方，由该升降机构适时控制该吸取头下降，让该吸取头一次吸取该晶粒旋转台的多个微型晶粒，或是将该多个微型晶粒加压安装于该基板旋转台上的接收基板。