[发明专利]多晶粒压合机

权利要求书

1.一种多晶粒压合机，包括：

一基座；

一水平移动载台，安装于该基座上，能于水平方向精密移动，该水平移动载台上另安装着能独立旋转的三个晶粒旋转台及一基板旋转台；以及

一龙门支架，树立固定于该基座，且不干涉到该水平移动载台的移动，该龙门支架上安装着一升降机构，该升降机构能控制一吸取头的升降，该吸取头由下而上至少包括一吸取单元及一旋转单元；

其中该水平移动载台上另安装着一第一对位镜头组，该第一对位镜头组是朝上方拍摄，用以校正该吸取头的位置；该龙门支架处另安装着一第二对位镜头组，该第二对位镜头组是朝下方拍摄，用以校正下方该晶粒旋转台及该基板旋转台的位置；

通过该水平移动载台精准地在不同时间移动该晶粒旋转台或该基板旋转台于该吸取头下方，由该升降机构适时控制该吸取头下降，让该吸取头一次吸取该晶粒旋转台的多个微型晶粒，或是将该多个微型晶粒加压安装于该基板旋转台上的接收基板。

2.如权利要求1所述的多晶粒压合机，其中该吸取单元由下而上包括相连的一多孔吸盘及一金属压头，该多孔吸盘内部具有多个纵向气道且底面具有多个接触垫，每个该纵向气道出口位于对应一个该接触垫，该多个纵向气道是与位于该金属压头内的管路相连通，该管路连接于外部的抽真空装置，用以适时产生真空。

3.如权利要求2所述的多晶粒压合机，其中该接触垫为纯金材质。

4.如权利要求1所述的多晶粒压合机，其中该吸取头进一步包括一隔热单元，因此该吸取头的结构由下而上按序由该吸取单元、该隔热单元及该旋转单元所构成，该隔热单元由下而上包括相连的一隔热层及一冷却盘，该冷却盘另外连接一冷却管路。

5.如权利要求1所述的多晶粒压合机，其中该吸取头进一步包括一隔热单元及一加热单元，因此该吸取头的结构由下而上按序由该吸取单元、该加热单元、该隔热单元以及该旋转单元所构成。

6.如权利要求5所述的多晶粒压合机，其中该加热单元内部安装着一电热装置。

7.如权利要求5所述的多晶粒压合机，其中该吸取头进一步包括一激光发射单元，该加热单元为金属材质，在该激光发射单元发射特定波长的光源于该加热单元，可使得该加热单元快速升温。

8.如权利要求7所述的多晶粒压合机，其中该加热单元对应该激光发射单元位置处具有一盲孔，该盲孔的孔底位于该加热单元的中心位置，该激光发射单元发射特定波长的光源于该盲孔内。