[发明专利]光配向装置有效
| 申请号: | 201710659995.6 | 申请日: | 2017-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN107329327B | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
| 发明(设计)人: | 肖印;万能;刘伟;张波;邹志杰 | 申请(专利权)人: | 成都天马微电子有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337;G02F1/13 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
| 地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本发明提供一种光配向装置,包括:配向光源,用于提供配向过程所用的光源;线偏振光栅,用于将所述配向光源提供的光源形成配向过程所需要的偏振光;承载基台,用于放置待配向的基板;散热夹层,位于所述承载基台内,用于对所述承载基台与所述待配向的基板进行冷却。在使用本发明提供的光配向装置配向过程中,待配向的基板及承载基台的热量将通过散热夹层置换带走,起到冷却作用,从而有效的预防断链小分子挥发到光配向装置的光学器件上发生氧化反应或者化学吸附,进而提升光配向装置的寿命和稳定性。 | ||
| 搜索关键词: | 装置 | ||
【主权项】:
一种光配向装置,其特征在于,包括:配向光源,用于提供配向过程所用的光源;线偏振光栅,用于将所述配向光源提供的光源形成配向过程所需要的偏振光;承载基台,用于放置待配向的基板;散热夹层,位于所述承载基台内,用于对所述承载基台与所述待配向的基板进行冷却。
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