[发明专利]光配向装置

权利要求书

1.一种光配向装置，其特征在于，包括：

配向光源，用于提供配向过程所用的光源；

线偏振光栅，用于将所述配向光源提供的光源形成配向过程所需要的偏振光；

承载基台，用于放置待配向的基板；所述待配向的基板表面涂有配向液，所述配向液在经过所述偏振光照射后，与所述偏振光的偏光方向相同的聚合物发生断链分解，形成具有预设角度的配向膜；所述承载基台( 01) 还包括支撑柱( 11) 与真空槽( 12) ，支撑柱(11) 包括实体支撑柱( 110) 与真空支撑柱( 120) ，承载基台( 01) 上还设置有用于收纳实体支撑柱( 110) 与真空支撑柱( 120) 的收纳槽，实体支撑柱( 110) 与真空支撑柱(120) 可以在收纳槽中自由上升或下降；

散热夹层，位于所述承载基台内，用于对所述承载基台与所述待配向的基板进行冷却；

所述承载基台还包括载片层，所述散热夹层位于所述载片层背离所述线偏振光栅的一侧；

所述散热夹层包括处于流动状态的冷却流体，所述冷却流体从所述散热夹层的入口端流向所述散热夹层的出口端；

所述载片层与所述冷却流体直接接触；所述载片层的朝向所述冷却流体的一侧设置有上散热片，且所述上散热片位于所述冷却流体内；

所述散热夹层用于将所述基板的表面的温度控制在20℃～30℃之间；

所述承载基台与所述线偏振光栅之间的距离设置在10cm-20cm的范围内；

所述冷却流体密封在所述散热夹层内；

所述散热夹层的朝向所述载片层的一侧设置有下散热片，所述下散热片与所述上散热片相互接触；

所述上散热片与所述下散热片均为楔形散热片，且所述上散热片与所述下散热片的楔形截面相配合接触。

2.如权利要求1所述光配向装置，位于所述散热夹层内部的所述冷却流体的温度范围为15℃-45℃。

3.如权利要求1所述光配向装置，所述冷却流体包括去离子水、工艺冷却水、有机冷却液或者高压压缩气体。

4.如权利要求3所述光配向装置，所述高压压缩气体包括干冰或者液氮。

5.如权利要求1所述光配向装置，所述上散热片为楔形散热片或者叶片型散热片。

6.如权利要求1或5所述光配向装置，所述上散热片与所述下散热片的材质包括金属或者金属合金。

7.如权利要求6所述光配向装置，所述上散热片与所述下散热片的材质包括铝，铜或者不锈钢。

8.如权利要求1所述光配向装置，所述承载基台还包括承重层，所述散热夹层位于所述载片层与所述承重层之间。

9.如权利要求1所述光配向装置，所述承载基台还包括导热片，所述导热片位于所述载片层与所述散热夹层之间。

10.如权利要求1所述光配向装置，所述承载基台还包括防静电涂层，所述防静电涂层形成于所述载片层的背离所述散热夹层的一侧。

11.如权利要求10所述光配向装置，所述防静电涂层的材质包括特氟龙。

12.如权利要求1所述光配向装置，所述载片层的材质包括金属或者金属合金。

13.如权利要求1所述光配向装置，所述散热夹层为蛇形管结构，或者平板夹层式结构。