[发明专利]一种光刻胶组合物在审
| 申请号： | 201710645643.5 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109324479A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 赵文超;王辰龙;王永林 | 申请（专利权）人： | 北京英力科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G02B5/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明提供一种光刻胶组合物，其特征在于含有着色剂、碱溶性树脂、丙烯酸酯单体及通式(Ⅰ)化合物，其中X＝O原子，CH2，NR，R为C1‑C4烷基、苯基。该光刻胶组合物具有留膜成分耐热性好，不污染烧成炉、不污染光掩膜的特点，适合用于制造CF和作为阻焊油墨的主要成分。 |
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| 搜索关键词： | 通式( Ⅰ )化合物 光刻胶组合物 着色剂 耐热性 烷基 丙烯酸酯单体 碱溶性树脂 阻焊油墨 光掩膜 烧成炉 苯基 污染 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，其特征在于：含有(A)通式(Ⅰ)化合物作为光引发剂、(B)碱溶性树脂、(C)丙烯酸酯单体、(D)颜料，通式(Ⅰ)化合物![]()
通式(Ⅰ)中X＝O原子，CH2，NR，R为C1‑C4烷基、苯基。
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