[发明专利]一种光刻胶组合物在审
申请号: | 201710645643.5 | 申请日: | 2017-08-01 |
公开(公告)号: | CN109324479A | 公开(公告)日: | 2019-02-12 |
发明(设计)人: | 赵文超;王辰龙;王永林 | 申请(专利权)人: | 北京英力科技发展有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;G02B5/22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 通式( Ⅰ )化合物 光刻胶组合物 着色剂 耐热性 烷基 丙烯酸酯单体 碱溶性树脂 阻焊油墨 光掩膜 烧成炉 苯基 污染 制造 | ||
本发明提供一种光刻胶组合物,其特征在于含有着色剂、碱溶性树脂、丙烯酸酯单体及通式(Ⅰ)化合物,其中X=O原子,CH2,NR,R为C1‑C4烷基、苯基。该光刻胶组合物具有留膜成分耐热性好,不污染烧成炉、不污染光掩膜的特点,适合用于制造CF和作为阻焊油墨的主要成分。
技术领域
本发明涉及光刻胶的制造,尤其是涉及光刻胶的组成及其应用,该光刻胶组合物可用于电子线路板的阻焊油墨或显示器件中的滤光片。
技术背景
显示器制造行业的技术人员熟知,制作滤光片时需要各种光刻胶,尤其是BM(黑色矩阵)和RGB(分别为红色、绿色和蓝色)三色光刻胶,在面板和基板逐步大型化的今天,光刻胶中的可升华成分,即没有连接到聚合物中的小分子物质例如光引发剂会在后烘过程中升华并冷凝在烧成炉的管道、器壁上,在不期望的情况下掉落到器件上,造成器件报废,光掩模污染等生产事故,导致成品率低,合格产品成本上升。专利JP2001235617公开了以Irgacure 369为母体结构的苯环溴代衍生物具有减低升华性的性能;但其所含溴元素会成为着色层长期稳定性的障碍,也会成为显影液循环使用的障碍;JP200810083587.1公开了加大光引发剂分子量而改进升华性的方案,即将Irgacure 907分子的甲硫基中甲基改变为更大的烷基,或这些烷基的末端还带有羟基或此羟基被进一步酯化的衍生物,其中一个例子是2-甲基-2-(4-吗琳基)-1-[4-(2-羟乙基硫基)苯基]-1-丙酮,虽然分子量比Irgacure907增加了30,但毕竟还是小分子物质,存在着显著的迁移性,不能根本解决上述问题;而其酯化物,由于分子量加大,不仅合成难度增大;同时作为光引发剂的有效基团的质量百分数减少,光引发剂应用效率大为降低。
发明内容
本发明提供一种光刻胶组合物,其特征在于:含有(A)通式(Ⅰ)化合物作为光引发剂、(B)碱溶性树脂、(C)丙烯酸酯单体、(D)颜料。
通式(Ⅰ)
通式(Ⅰ)中X=O原子,CH2,NR,R为C1-C4烷基、苯基。
虽然通式(Ⅰ)化合物作为必要光引发剂,该组合物中还可以使用其他光引发剂或活性增感助剂,例如二联咪唑类化合物、肟酯类光引发剂、芳酰基氧化膦、IHT-PI 910等长波吸 收的光引发剂,及活性胺Photomer 4250、4,4’-二(二乙氨基)二苯甲酮等助剂。
组分(B)的碱溶性树脂是指在碱性显影液中可以溶解的树脂,从而赋予组合物可显影性。理想的树脂可由不饱和羧酸或酸酐及不饱和羧酸酯或乙烯基芳烃化合物、可作为交联剂的具有两个以上不饱和双键化合物一起共聚合成,其中任意两种或两种以上的原料都可以进行共聚反应,为得到合适的酸值,可以选择合适比例的不饱和羧酸。可以列举的例子有:丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸、马来酸酐、苯乙烯、间甲基苯乙烯、丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸2-羟乙酯、乙酸乙烯酯等。
组分(C)的丙烯酸酯单体是指单官能的丙烯酸酯,例如丙烯酸丁酯;或双官能的丙烯酸酯,例如新戊二醇二丙烯酸酯;亦或多官能的丙烯酸酯,例如三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等,还有上述丙烯酸酯的乙氧基化或丙氧基化产物。
组分(D)颜料可以是任何具有遮盖力的固体粉末,例如炭黑、C.I.颜料黄3、C.I.颜料红7、C.I.颜料蓝15、C.I.颜料绿7等无机或有机颜料。
上述组分按量混合在一起,或将可溶成分溶解在溶剂中,经过均质得到光刻胶组合物。可使用之溶剂有:二乙二醇单乙醚醋酸酯、乙二醇单丁醚醋酸酯等,并根据涂布的需要调节稀释倍数。
上述光刻胶组合物可以制造一种光刻胶图像,组合物涂布在基材上,然后经掩膜板光照固化得到光刻胶图像。
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