[发明专利]基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法及装置有效
| 申请号： | 201710644767.1 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN107687809B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 谷中慎一郎;奈良正之 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，在通过使用激光束追随后向反射器的跟踪式激光干涉仪检查定位机械时，将通过定位机械(10)测定的测定点p |
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| 搜索关键词： | 基于 跟踪 激光 干涉仪 定位 机械 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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