[发明专利]基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法及装置

权利要求书

1.一种基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，其是用于通过使用激光束追随后向反射器的跟踪式激光干涉仪检查定位机械的方法，其特征在于，该方法具有下述步骤：

在所述定位机械中安装所述后向反射器的步骤；

判定在所述定位机械的作业空间被定位的所述跟踪式激光干涉仪的旋转中心M的位置向量的步骤；

在位于通过所述跟踪式激光干涉仪的所述旋转中心M延伸的一条直线g_k的附近的至少两个位置p_i定位所述后向反射器，通过所述定位机械检测该后向反射器的各位置向量的步骤；

使用所述跟踪式激光干涉仪，分别测定从至少两个所述位置p_i分别至所述旋转中心M的距离d_i，L，根据所述至少两个距离d_i，L之差计算至少一个距离差Δd_ij，L的步骤；

将所述后向反射器的各位置向量坐标转换为以所述旋转中心M作为原点的位置向量的步骤；

计算将至少两个所述位置向量正交投影到所述直线g_k的单位方向向量上的距离d_i，C的步骤；

根据至少两个所述距离d_i，C计算至少一个距离差Δd_ij，C的步骤；以及

将通过所述跟踪式激光干涉仪测定的至少一个所述距离差Δd_ij，L与通过所述定位机械测定至少一个距离差Δd_ij，C比较的步骤。

2.根据权利要求1所述的基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，其特征在于，

判定所述旋转中心M的位置向量的步骤具有下述步骤：

(a)向希望的位置P_i移动后向反射器的步骤；

(b)通过所述定位机械测定所述后向反射器的位置向量的步骤；

(c)通过所述跟踪式激光干涉仪测定至所述后向反射器的距离d_i，L的步骤；以及

(d)变更所述后向反射器的位置P_i，至可计算所述跟踪式激光干涉仪的所述旋转中心M的所述位置向量在至少合计四个位置反复所述步骤(a)～(c)的步骤，

根据测定的所述距离d_i，L及位置向量判定所述跟踪式激光干涉仪的所述旋转中心M的所述位置向量

3.根据权利要求2所述的基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，其特征在于，

作为所述位置向量的值，使用预先规定的指令值取代所述定位机械的测定值。

4.根据权利要求2所述的基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，其特征在于，

所述至少合计四个位置之中至少一点不在相同的面上的位置。

5.根据权利要求2或3所述的基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，其特征在于，

所述定位机械进行的所述后向反射器的位置向量或位置向量的测定是一边使所述后向反射器移动一边测定。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的基于跟踪式激光干涉仪的定位机械的检查方法，其特征在于，

所述定位机械是三维坐标测定机(CMM)。