[发明专利]基板搬运机器人及真空处理装置

摘要

本发明提供即使没有对手部的末端进行检测也能进行基板的准确的移动的基板搬运机器人。将手部（40）的定位指部（55）以在支承板（41）上配置石英板（42）的方式构成，在石英板（42）的根部部分处，设置被固定于支承板（41）的固定部（50）。石英板（42）的固定部（50）以外的部分未被固定于支承板（41），即使被加热而支承板（41）延伸，石英板（42）也不延伸，不存在被设置于石英板（42）的末端的末端侧限位器（56）由于热膨胀的移动。

主权项

一种基板搬运机器人，前述基板搬运机器人使被配置基板的手部移动，前述基板搬运机器人的特征在于，前述手部具有掌部和多根细长的指部，前述多根细长的指部被设置于前述掌部，被配置一张基板，多根前述指部中的至少一根前述指部是具有支承板、石英板的定位指部，前述支承板是根部部分被固定于前述掌部的细长的支承板，前述石英板是在前述支承板上沿前述支承板地载置的细长的石英板，在前述石英板的两端中的接近前述掌部的根部侧的一端，设置固定部，在距离前述掌部远的末端侧的另一端，设置末端侧限位器，前述固定部被安装于由前述掌部与前述支承板构成的支承体，末端侧的前述另一端未被安装于前述支承体。