[发明专利]物料供给装置及晶体生长系统有效

专利信息
申请号: 201710624492.5 申请日: 2017-07-27
公开(公告)号: CN109306514B 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 付泽华;周锐;张永辉;李侨;赵会刚 申请(专利权)人: 隆基绿能科技股份有限公司
主分类号: C30B15/02 分类号: C30B15/02;C30B29/06
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 钟欢
地址: 710100 陕西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开的物料供给装置,用于向炉体内部的坩埚中供给物料,物料供给装置包括储料机构、喂料机构和投料通路,储料机构包括料筒和控料体,料筒用于容纳物料且具有出料口,控料体设置于所述料筒、且可相对于料筒出料口移动,容纳于料筒中的物料从料筒出料口与控料体的间隙离开料筒,喂料机构具有将物料从炉体外部输入炉体内部的喂料通路,投料通路位于炉体内部且与坩埚相对,喂料通路对接投料通路,物料经喂料通路导入投料通路并由投料通路输入坩埚中。本发明公开的晶体生长系统,包括炉体,设置于炉体内用于盛装物料的坩埚,以及如上所述的物料供给装置。本发明提高了单晶硅棒的生产效率,同时提高了外部加料的稳定性和安全性。
搜索关键词: 物料 供给 装置 晶体生长 系统
【主权项】:
1.物料供给装置,其特征在于,用于向炉体(7)内部的坩埚(11)中供给物料,所述物料供给装置包括储料机构(1)、喂料机构(4)和投料通路(5),所述储料机构(1)包括料筒(101)和控料体(1033),所述料筒(101)用于容纳物料且具有出料口,所述控料体(1033)设置于所述料筒(101)、且可相对于所述料筒(101)出料口移动,容纳于所述料筒(101)中的物料从所述料筒(101)的出料口与所述控料体(1033)的间隙离开料筒(101),所述喂料机构(4)具有将物料从炉体(7)外部输入炉体(7)内部的喂料通路(43),所述投料通路(5)位于所述炉体(7)内部且与所述坩埚(11)相对,所述喂料通路(43)对接所述投料通路(5),物料经所述喂料通路(43)导入投料通路(5)并由所述投料通路(5)输入所述坩埚(11)中。
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