[发明专利]一种简易电迁移测试系统在审
| 申请号： | 201710618121.6 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN107389987A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 廖广兰;孙博;邵杰;史铁林;汤自荣;谭先华;林建斌;王肖 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心42201 | 代理人： | 梁鹏,曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微互连可靠性测试领域，并公开了一种简易电迁移测试系统。该系统包括芯片夹持装置、反应腔、电化学工作站和信号采集站，芯片夹持装置用于固定待测试芯片，且设置在反应腔内，反应腔用于为待测试芯片提供高温和无氧环境；电化学工作站与信号引出线连接，用于为待测试芯片提供电流，同时测试该待测试芯片的电压；信号采集站用于设置电化学工作站的参数，并实时采集电化学工作站测试的电压并对该电压进行处理。通过本发明，实现在实验室有效地测试电迁移过程，制作简单，成本低廉，体积小，节省测试时间，对于研究微互连结构的电迁移研究具有重要意义，有效推动芯片可靠性的研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 迁移 测试 系统 | ||
【主权项】：
一种简易电迁移测试系统，该系统包括芯片夹持装置、反应腔、电化学工作站和信号采集站，其特征在于，所述芯片夹持装置包括上板、下板、探针和信号引出线，所述上板和下板用于夹持待测试芯片，所述探针设置在所述上板上，且与所述信号引出线连接，该探针与待待测试芯片接触，通过所述信号引出线将待测试芯片的信号引出；所述芯片夹持装置设置在所述反应腔内，该反应腔用于为待测试芯片提供高温和无氧环境；所述电化学工作站与所述信号引出线连接，用于为待测试芯片提供电流，同时测试该待测试芯片的电压；所述信号采集站用于设置所述电化学工作站的参数，并实时采集所述电化学工作站测试的电压并对该电压进行处理。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学，未经华中科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710618121.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
