[发明专利]一种简易电迁移测试系统

权利要求书

1.一种简易电迁移测试系统，该系统包括芯片夹持装置、反应腔、电化学工作站和信号采集站，其特征在于，

所述芯片夹持装置包括上板、下板、探针和信号引出线，所述上板和下板用于夹持待测试芯片，所述探针设置在所述上板上，且与所述信号引出线连接，该探针与待待测试芯片接触，通过所述信号引出线将待测试芯片的信号引出；

所述芯片夹持装置设置在所述反应腔内，该反应腔用于为待测试芯片提供高温和无氧环境；

所述电化学工作站与所述信号引出线连接，用于为待测试芯片提供电流，同时测试该待测试芯片的电压；

所述信号采集站用于设置所述电化学工作站的参数，并实时采集所述电化学工作站测试的电压并对该电压进行处理。

2.如权利要求1所述的一种简易电迁移测试系统，其特征在于，所述信号引线外表面设置有玻璃纤维管，用于保护所述信号引出线。

3.如权利要求1或2所述的一种简易电迁移测试系统，其特征在于，所述反应腔采用管式炉。

4.如权利要求1-3任一项所述的一种简易电迁移测试系统，其特征在于，所述电化学工作站优选采用数字源表。

5.如权利要求1-4任一项所述的一种简易电迁移测试系统，其特征在于，所述探针优选采用圆头铜探针。

6.如权利要求1-5任一项所述的一种简易电迁移测试系统，其特征在于，所述上板和下板之间设置有弹簧，用于避免芯片在夹持过程中破损。