[发明专利]包含存储器区域及逻辑区域的集成电路IC有效
申请号: | 201710610888.4 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN107706204B | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 庄学理;廖均恒 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/22 | 分类号: | H01L27/22 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 路勇 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本揭露涉及一种包含存储器区域及逻辑区域的集成电路IC。所述IC包括存储器区域及逻辑区域。下金属层安置在衬底上方,且包括在所述存储器区域内的第一下金属线。上金属层覆盖在所述下金属层上,且包括在所述存储器区域内的第一上金属线。存储器单元安置在所述第一下金属线与所述第一上金属线之间,且包括平坦底部电极。所述平坦底部电极邻接所述下金属层的第一下金属通路。通过形成所述平坦底部电极且透过所述下金属通路将所述平坦底部电极连接到所述下金属层,无需额外BEVA平坦化及/或图案化工艺。因此,减小损坏所述下金属线的风险,借此提供更可靠读取/写入操作及/或更佳性能。 | ||
搜索关键词: | 包含 存储器 区域 逻辑 集成电路 ic | ||
【主权项】:
一种包含存储器区域及逻辑区域的集成电路IC,所述集成电路IC包括:衬底;下金属层,其安置在所述衬底上方,且包括在所述存储器区域内的第一下金属线及在所述逻辑区域内的第二下金属线;上金属层,其覆盖在所述下金属层上,且包括在所述存储器区域内的第一上金属线及在所述逻辑区域内的第二上金属线;及存储器单元,其安置在所述第一下金属线与所述第一上金属线之间,且包括平坦底部电极及顶部电极,所述顶部电极与所述底部电极通过电阻切换组件而分离;其中所述存储器单元分别透过邻接所述平坦底部电极的第一下金属通路连接到所述第一下金属线,及透过邻接所述顶部电极的第一上金属通路连接到所述第一上金属线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的