[发明专利]一种CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法在审
| 申请号： | 201710598093.6 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107342201A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 许军旗;王艳蕊;常泱泱;孙海斌;王其尚;付灿;许靖 | 申请（专利权）人： | 信阳师范学院 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;C01F17/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 饶欣 |
| 地址： | 464000 河南省信*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开一种CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，包括下述步骤(1)清洗柔性衬底，烘干后镀上Au作为催化剂备用；(2)将铈源放入石管，置于管式电炉中部，在管式炉上气流方向放置镀有催化剂的衬底；(3)将管式炉密封后充满惰性保护气和还原气体，然后对其抽真空；(4)真空条件下加热石英管，待其升温至900～1000℃时，通入硼源前驱体；(5)反应15～45min后，停止通入硼源，在惰性保护气和还原气体气氛下自动降温；(6)取出柔性衬底，得到CeB6柔性场发射阴极材料。本发明采用柔性衬底，通过易于操作的化学气相沉积方法实现了CeB6纳米线在柔性衬底上准定向生长，实现了高柔性CeB6纳米线的制备，制得的CeB6场发射阴极材料具备优异的场发射性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ceb6 柔性 发射 阴极 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)清洗柔性衬底，烘干后镀上Au作为催化剂备用；(2)将铈源放入石英管，置于管式电炉中部，在管式炉上气流方向放置镀有催化剂的衬底；(3)将管式炉密封后充满惰性保护气和还原气体，然后对其抽真空；(4)在真空条件下加热石英管，待其升温至900～1000℃时，通入硼源前驱体；(5)反应15～45min后，停止通入硼源，然后在惰性保护气和还原气体气氛下自动降温；(6)取出柔性衬底，实现CeB6柔性场发射阴极材料的制备，该CeB6柔性场发射阴极材料包括柔性衬底和生长于柔性衬底上的CeB6纳米线。
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