[发明专利]一种CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法在审
| 申请号： | 201710598093.6 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN107342201A | 公开（公告）日： | 2017-11-10 |
| 发明（设计）人： | 许军旗;王艳蕊;常泱泱;孙海斌;王其尚;付灿;许靖 | 申请（专利权）人： | 信阳师范学院 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;C01F17/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 饶欣 |
| 地址： | 464000 河南省信*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ceb6 柔性 发射 阴极 材料 制备 方法 | ||
1.一种CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：
(1)清洗柔性衬底，烘干后镀上Au作为催化剂备用；
(2)将铈源放入石英管，置于管式电炉中部，在管式炉上气流方向放置镀有催化剂的衬底；
(3)将管式炉密封后充满惰性保护气和还原气体，然后对其抽真空；
(4)在真空条件下加热石英管，待其升温至900～1000℃时，通入硼源前驱体；
(5)反应15～45min后，停止通入硼源，然后在惰性保护气和还原气体气氛下自动降温；
(6)取出柔性衬底，实现CeB6柔性场发射阴极材料的制备，该CeB6柔性场发射阴极材料包括柔性衬底和生长于柔性衬底上的CeB6纳米线。
2.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，所述CeB6纳米线的直径为80～300nm，长度为5～40μm。
3.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，所述柔性衬底为碳布。
4.根据权利要求1或3所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述柔性衬底上的催化剂为Au薄膜，其厚度为5～15nm。
5.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述清洗柔性衬底的方法为：将柔性衬底依次通过丙酮、乙醇、超纯水在超声波清洗机中清洗20min。
6.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，所述铈源为含有Ce元素的药品，其质量为0.1～0.3g。
7.根据权利要求6所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，所述铈源为CeCl3·7H2O。
8.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，步骤(3)和步骤(5)中，以体积百分比计量，所述惰性保护气和还原气体为30％H2与70％Ar的混合气。
9.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，以体积百分比计量，所述硼源前驱体为5％B2H6与95％H2的混合气。
10.根据权利要求1所述的CeB6柔性场发射阴极材料的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，在真空条件下以15～25℃/min的速率加热石英管至900～1000℃时，通入硼源前驱体，该硼源前驱体的流速为20～40sccm。
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