[发明专利]配向膜固化系统在审
| 申请号： | 201710592043.7 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN107193142A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李任鹏;米田公太郎 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种配向膜固化系统，用于基板上配向膜的固化，包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区；所述预备区内设有所述承载台和第一支撑台，所述预烤区内设置一预烤炉，所述预烤炉内设有第二支撑台，所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑，所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑，以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 固化 系统 | ||
【主权项】：
一种配向膜固化系统，用于基板上配向膜的固化，其特征在于，包括设有设数个顶针的承载台、夹持部、预备区和预烤区；所述预备区内设有所述承载台和第一支撑台，所述预烤区内设置一预烤炉，所述预烤炉内设有第二支撑台，所述第一支撑台与第二支撑台均为气浮式支撑，所述夹持部用于将由数个顶针支撑的基板夹持并移动到所述第一支撑台上方通过气浮支撑，以及用于将所述第一支撑台上的基板移动至预烤炉内的第二支撑台上通过气浮支撑。
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